近些年來，由于人們家庭及辦公場(chǎng)所對(duì)節(jié)能的意識(shí)不斷提高，在節(jié)能的同時(shí)還致力于實(shí)現(xiàn)舒適生活的智能家居，以及為必要的地方提供必要亮度的照明，并可實(shí)現(xiàn)節(jié)能與舒適性兩全其美的應(yīng)需環(huán)境照明等的智能辦公室已經(jīng)過研究階段進(jìn)入了驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)的階段。其中，作為掌握人數(shù)及人物所處位置的關(guān)鍵件，傳感器的需求正在不斷高漲。 由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無法檢測(cè)靜止不動(dòng)的人物，所以難以檢測(cè)人數(shù)及人物所處位置。
　　由于這種情況，開發(fā)了能夠檢測(cè)靜止人物，具有90度廣視野范圍并可實(shí)現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測(cè)，用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。 該MEMS非接觸式溫度傳感器是通過應(yīng)用MEMS技術(shù)的熱電堆將對(duì)象物體發(fā)出的紅外線能源變?yōu)闊崮?，并通過兩種金屬接點(diǎn)之間溫差所形成的熱電動(dòng)勢(shì)測(cè)量溫度。但由于熱電堆所轉(zhuǎn)換的熱能大多數(shù)都會(huì)通過空氣散失，所以在金屬接點(diǎn)之間難以形成較大的溫差，致使熱電動(dòng)勢(shì)變小，無法提高靈敏度。 這次，世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內(nèi)。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉(zhuǎn)換的熱能散失在空氣中，使金屬接點(diǎn)之間的溫差變大，從而可實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度，該溫度傳感器目前在全世界行業(yè)技術(shù)屬于瑤瑤領(lǐng)先的。
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